KrFレジスト用ベースポリマー

①P(PHSt) Mw=15K PDI<1.02

②P(PHSt) Mw=18K PDI<1.02

③P(PHSt) Mw=21K PDI<1.02

④P(PHSt) Mw=24K PDI<1.02

⑤P(PHSt) Mw=27K PDI<1.02

⑥P(PHSt) Mw=30K PDI<1.02

⑦P(PHSt) Mw=33K PDI<1.02